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日本ULVAC爱发科频射电源

简要描述:
日本ULVAC爱发科频射电源
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射频电源,内置输出匹配器,适用于射频溅射和等离子 CVD 蚀刻等等离子体工艺。匹配器和射频电源的集成使其更小、更轻。它可以从低输出进行控制,并且可以用于广泛的领域,从研发应用到批量生产设备。

更新时间:2025-06-27

访问量:56

厂商性质:经销商

型号:RMG-1303

品牌ULVAC/日本爱发科供货周期现货
应用领域环保,化工,电子/电池,综合

日本ULVAC爱发科频射电源

日本ULVAC爱发科频射电源


特征

功率低至 1W 即可控制

标配 500Hz~100kHz 脉冲射频输出功能 能够以低输出功率进行控制

标配外部同步引脚

单相 100V~220V / 50Hz~60Hz 输入范围广

200mm×200mm×350mm/10kg,小巧轻便的电源

CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS

规格

RMG-1303 系列
电源功能部分输入电压单相 AC100-220V
输入容量700VA 以下
频率13.56兆赫±0.01%
Forword 力量300W (50Ω 负载时)
匹配函数部分额定功率300 瓦
额定电流10 臂
额定电压2500Vpp/-2500Vdc(标准) *1
输出电极/选项2-M4(标准)/N,HN,DIN7/16 *2
公共部分冷却方式强制风冷
尺寸尺寸
(W×D×H) 不包含
突起项
200×350×200(毫米)
重量约 10 公斤
标准CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS(欧洲)
*1 额定电压可作为选项进行更改。
*2 可以选择更改为连接器输出类型。


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