| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科金属气相沉积电子束蒸发源
日本ULVAC爱发科金属气相沉积电子束蒸发源
特征
它抑制背向散射电子并抑制衬底温度的升高。
平顶结构减少了电子束蒸发源上的沉积面积，使其易于清洁。
与以前的型号相比，新的发射器结构将零件数量减少到 60%，使组装更容易。
可以选择用于金属沉积的带状光束和用于氧化物/化合物的点光束。
作为设备制造商积累的专有技术的反馈到设计。
| 型 | EGN-206M 型 | EGN-406M | |
| 电子束偏转角 | 270° | ||
| 坩埚数量 | 6 | ||
| 坩埚容量 | 20毫升 | 40毫升 | |
| 坩埚尺寸： 顶部 × 底部× 深度 | Φ42×Φ32×19（毫米） | Φ50×Φ41×25（毫米） | |
| 冷却水 | 炉 边 | 10L/min 或更高 | |
| 其他 | 2L/min 或更高 | ||
| 尺寸尺寸（宽×深×高） 不包含突起项 | 214×343×144（毫米） | ||
| 重量 | 28 公斤或以下 | ||
| 沉积速率 | 1.6μm/min （带状光束 / 铝 / 8kW / 40cc 坩埚 / 炉膛正上方 250H） | ||
| 最大加速电压 | -10kV | ||
| 最大发射电流 | 0.8 安培 | 1.0 安培 | |
| 适用电源 | 电子产品HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||
中崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM脉冲、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
咨询电话