| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科多功能真空搬运机器人
日本ULVAC爱发科多功能真空搬运机器人
特征
有多种臂可供选择，以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。
COVOT-CR4 采用磁流体密封进行真空密封，可使用高达 10-6Pa 的高真空。
| 型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 系列 | |
| 工作压力区域 | 大气压力~10-1Pa | 大气压~10-6Pa | |
| 晶圆尺寸 | 200 毫米/300 毫米 | 200 毫米/300 毫米 | |
| 持有的晶圆数量 | 4 件 | 2 件 | |
| 最大范围 * | 880 毫米 | 1050 毫米 | |
| 旋转角度 | 360° 无尽 | ±180° | |
| 提升行程 | 110 毫米 | 120 毫米 | |
| 最小旋转直径 * | 980 毫米 | 960 毫米 | |
| 有效载荷能力（包括手） | 1 千克 | 1 千克 | |
| 作速度 伸缩式 | 伸缩 | 最大 1.5 秒 / 全行程 | 最大 1.5 秒/780 毫米 |
| 把 | 最大 2.0 秒 / 180° | 最大 2.0 秒 / 180° | |
| 提升 | 最大 1.5 秒 / 20 毫米 | 最大 3.5 秒 / 105 毫米 | |
| 可重复的位置精度 | 伸缩 | ±0.1 毫米 | ±0.1 毫米 |
| 把 | ±0.1 毫米 | ±0.1 毫米 | |
| 提升 | ±0.1 毫米 | ±0.1 毫米 | |
| 示教器 | 附属品 | 附属品 | |
| 控制器 | 分开 | 分开 | |
中崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM脉冲、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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