| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科高速型真空沉积设备
日本ULVAC爱发科高速型真空沉积设备
特征
通过玻璃钟罩易于查看，易于维护。
真空室可以在不停止主泵的情况下打开。
由于增加了蒸发电源和电极，因此可以同时进行蒸发和多层蒸发（最多四层）。
它是带脚轮的易于移动的真空泵系统。
安装的安全性可以通过调节器来确保。
| 型 | VPC-1100 系列 | |
| 规范 | 极限压力 | 4.0×10-4 帕 1.3×10-4Pa（带 LN 冷阱） |
| 疏散时间 | 4.0×10-3帕/10分钟 10-4Pa台/10min（带LN冷阱） | |
| 真空室 | 真空室 | 玻璃钟罩 （直径 390mm × 350mm（高）） |
| 馈通套环 | 20 个端口（侧面 14 / 底部 6） | |
| 推荐基板尺寸（最大基板尺寸）※1 | □50mm ・ □220mm（最大） | |
| 电源系统 | 蒸发电极结构 | 3 点 |
| 蒸发电极 / 电源 | SEREM “PSE-150C" 1 组 0~10V 150A（Max） | |
| 排气系统 | 主泵※2 | 油扩散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液氮捕集阱 | 选择 | |
| 副泵 | 油旋转泵200L/min、2 泵 | |
| 油雾捕集器 | 选择 | |
| 作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
| 副阀 | 三通阀 | |
| 自动泄漏阀 | 选择 | |
| 控制 | 手动控制 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G 系列 |
| 电离真空计 | 选择 | |
| 设置 | 外部尺寸 Body | 1235 毫米（宽）×836 毫米（深）×2155 毫米（高） |
| 电源 | 装备 | |
| 重量 Body | 313 千克 | |
| 电源 | 装备 | |
※1：显示最大板尺寸的值，不考虑薄膜厚度分布。
※2：可安排涡轮分子泵 （TMP） 的规格。
| 型 | VPC-1100 系列 | |
| 所需功率 | 身体 | 200V 三相 50/60Hz 5.0kVA |
| 电源 | 100V 单相 50/60Hz 1.0kVA | |
| 接地端子 | D 级（接地电阻/100Ω 以下） | |
| 连接 | 本体 3Φ 200V | Cabtyre 电缆（带 R3.5-4 环形舌片端子） 4m |
| 电源 1Φ 100V | 乙烯基电缆（带插头） 4m | |
| 需水量 | 1.5 L/min （水温 ： 20？25°C， 水压 ： 200kPa （表压）） | |
| 连接（插座） | Rp1/4 （带软管接头 “Kantouch"） | |
| 推荐房屋※ | Tetoron 编织软管 （外径 15mm×内径 9mm） | |
※请准备冷却水配管。
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