日本KASUGA春日静电点位监视装置

日本KASUGA春日静电点位监视装置

长处

• 放大器部分（驱动电路部分）内置于检测单元中，使其价格低廉且紧凑。

• 可以以较低的成本构建过去昂贵的静电监测系统。

• 可以通过开关改变测量范围，并且可以进行从低电位到高电位的广泛测量。

• 它配备了检测传感器的故障指示 LED，可以输出到外部。

用

• 平板显示器生产过程中的电荷监控。

• 半导体晶圆电荷监测。

• LSI 处理和 PCB 运输期间的电荷监控。

规范

日本KASUGA春日静电点位监视装置

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