| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 其他 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵
日本ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵
特征
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，实现耐腐蚀性
采用 ULVAC du 特设计的转子轴，实现高性能的粉末排出
实现接近大气压的连续抽气
用于半导体和电子设备制造设备的
真空系统蚀刻、灰化、等离子清洗等。
用于炉
烧结、渗碳等的真空系统
锂离子电池制造设备的
真空系统 电极干燥、脱气、真空注射等
医疗和食品
真空系统 冷冻干燥、真空干燥等
*MS1200A 可单独提供，另设控制板和传感器。请联系我们了解详情。
| 型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| 最大抽速 *1 | m3/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源 | 200V 等级：3相， 50/60Hz， AC200-240V±10% 或 400V 等级：3相， 50/60Hz， AC380-480V±10% | |||
| 功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体流量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
| 最大水蒸气容忍度 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪声 *2 | 分贝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 入口 | KF50（卧式） / VG50（立式） | ISO-F-80 认证 | ISO-F-100 认证 | |
| 出口 | 肯氟烃40 | |||
| 重量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 适用标准 | CE、cTUVus | |||
| 标准附件 | 快速手册， 电源连接器， 防水电缆夹， 遥控连接器， 电源连接器防护罩， 消音器 | |||
| 泵头选项 | 电源：200V 级或 400V 级 密封材料：FKM 或 FFKM | |||
| 外部选项 | Packege 排气口、抗震支架、LR 兼容单元（入口、远程）、吹扫气体阀 | |||
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