| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
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日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵
特征
'低温泵（型号：LR）
'“型号：LR"泵旨在缩短负载锁定、PVD 工艺等的抽气时间。
出色的氦气泵送能力
屏蔽电机，安全且易于维护
断电保护
泵可承受长达 500 毫秒的电源中断。
优异的耐腐蚀性气体（型号：HR/UR）
内部部件经过特殊处理，具有高度的表面硬度和耐腐蚀性。这可以防止泵内部部件在暴露于腐蚀性气体时磨损和腐蚀。
通信功能
可以导出包括警告和警报在内的泵数据。提供广泛的泵控制。
溅射设备、气相沉积设备等
缩短负载锁室的抽气时间
用于涡轮分子泵和机械增压泵的前级泵
| 型 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | |
| 最大 抽速 | 50 赫兹 | 62 米3/h （1030 升/分钟） | 112 米3/h （1860 升/分钟） | 183 米3/h （3100 升/分钟） | 440 米3/h （7333 升/分钟） | 440 米3/h （7333 升/分钟） |
| 60 赫兹 | 80 米3/h （1333 升/分钟） | 126 米3/h （2100 升/分钟） | 237 米3/h （3950 升/分钟） | |||
| 极限压力 | 5.0 帕 | |||||
| 最大入口压力 | 气压 | |||||
| 最大排气压力 | 1.0 至 Atmosphere Pressure Pa | |||||
| 入口直径（CE 型） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG100 系列 | |||
| 出口直径 | 肯氟烃40 | VG50 系列 | ||||
| 重量 | 180 千克 | 245 千克 | 335 千克 | 415 千克 | ||
| 功率 *1 | 三 相 | 200 VAC（50/60 赫兹）、220 VAC（60 赫兹） | 180~240 伏交流电/380~440 伏交流电（50/60 赫兹） | |||
| 当前 | 在极限 压力下 | 6.9 A （200V 时） | 11.2 A （200V 时） | 18.9 A （200V 时） | 20.8 A （200V 时） | |
| 在最大 负载时 | 7.3 A （200V 时） | 11.8 A （200V 时） | 20.6 A （200V 时） | 48.5 A （200V 时） | ||
| 冷却水 供气压力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| 冷却水进/出 差压力 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 升/分钟 | >4.0 升/分钟 | ||||
| N2 气体 | 供气 压力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 调节 压力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
| N2 吹扫 | 轴吹扫 | 5 SLM | ||||
| 气镇 | 0~45 SLM | 没有 | 0~45 SLM | |||
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