日本ULVAC爱发科两级型低温泵

日本ULVAC爱发科两级型低温泵

日本ULVAC爱发科两级型低温泵

特征

适用于 4 英寸低温泵的出色泵送性能

高抽速提高了抽速和生产率。

zui 适于半导体制造的溅射工艺或其他小型设备

一台压缩机最多可运行 4 台机组。

定制设计可满足您的需求。

规范

抽速20°C）	氮	L/s	450
	氢		500
	氩		370
	水		1,100
极限压力	帕		10-7
最大流量	氩	帕・L/秒	1.3×103
泵送能力	氩	帕・L	1.0×107
	氢		1,5×10%5
冷却时间	最小（50/60Hz）		45/50
重量		公斤	14.5

尺寸 （单位：mm）

         中崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM脉冲、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。