| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
|---|
日本ULVAC爱发科涡轮分子泵
日本ULVAC爱发科涡轮分子泵
特征
泵体与控制器分离 控制器可监控运行状态，支持各种通讯标准。
自由安装方向
自由安装方向使系统设计灵活。
抽速 300L/s 至 4000L/s 级产品阵容
泵旋转范围为 25% 至 100％
通过改变转速来调节腔室中的压力。
高耐久性和安全性
通过了空气冲入测试和着陆测试等安全确认测试。
设备主要真空抽气系统
- 半导体设备
- 蒸发器，溅射系统
- 分析设备，实验装置等
主真空抽气系统，用于不产生副反应产物的轻工艺。
一般用于高真空抽真空系统。
| 型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A 质谱仪 | ||||||
| 入口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出口 | KF25 系列 | 肯氟烃40 | ||||||||
| 冷却方式 | 水 冷 | 风 冷 | 水 冷 | 风 冷 | 水 冷 | 风 冷 | 水 冷 | 风 冷 | ||
| 极限压力 *1 | 帕 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 抽速 *2 | 注 2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 氦气 | L/s | ー | ||||||||
| 他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 系列 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 按压率 | 注 2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 系列 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大入口压力 *3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口压力 *3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 转速 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5 分钟或更短 | |||||||||
| 安装位置 | 在任何想要的方向 | |||||||||
| 表面处理 | 镀镍 | |||||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
| 压力 | MPaG | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
| 噪声 | 分贝（A） | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推荐的前级泵 | 200L/小 更多 | 500L/小 更多 | ||||||||
| 控制器 | 组成 | 分离型 | ||||||||
| 输入电力 | 单相 AC200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度变化 | 速度在额定速度的 25% 到 100% 之间变化（设置为 0.1%） | |||||||||
| 通信 | 联系 | |||||||||
| 型号：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
咨询电话