| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
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日本ULVAC爱发科复合涡轮分子泵
日本ULVAC爱发科复合涡轮分子泵
特征
自由安装
安装方向不受限制 由于安装方向自由，系统设计的自由度很高。
板载控制器
集成控制器能够减少电线工作并缩小泵送系统的尺寸。
高压缩比和高背压
高压缩比使得泵能够在高背压下运行并缩小其
前级泵的尺寸。
三种法兰
入口口法兰可从 ISO-K、ICF 和 VG 中选择。
清洁的真空环境
在泵运行和停止时，碳氢化合物气体的回流较少。
低噪音
空载时的噪音水平为 48dB 或更低（带 ISO63-K 法兰）
用于分析设备、研发系统、实验设备等的主要泵送系统。
蒸发器和溅射设备等的主泵送系统
主泵送系统，用于抽空 H2、He 等低分子气体
| 型 | UTM70B 系列 | UTM300B | |||||
| 泵 | 咕咕法 | 自然风 冷 | 强制风 冷 | 自然风 冷 | 强制风 冷 | ||
| 法兰尺寸 | 入口 *1 | VG65、ICF114、ISO063-K | VG100、ICF152、ISO100-K | ||||
| 出口 | KF16 系列 | KF16 系列 | |||||
| 抽速 （无 保护网） | 注2 | 70 升/秒 | 280 升/秒 | ||||
| 他 | 60 升/秒 | 270 升/秒 | |||||
| H2 型 | 49 升/秒 | 220 升/秒 | |||||
| 极限 压力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8帕 | - *3 | 10-8帕 | ||
| 烘烤 | 10-6帕 | 10-6帕 | 10-6帕 | ||||
| 最大压缩率 | 注 2 ： >1×109， 他 ： 4×107、H2 ： 4×105 | 注 2 ： >1×109， 他 ： 7×106,H2 ： 1×105 | |||||
| 入口 处的最大压力 *4， *5， *6 | 注2 | 0.43帕 | 1.1帕 | 0.06帕 | 0.7帕 | ||
| 出口 处的最大压力 *4， *5， *7 | 注2 | 300帕 | 900帕 | 100帕 | 1000帕 | ||
| 连续 运行 最大 流量 *8 | 无 气体吹扫 | 注2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10 厘米 *10 | 100 平方厘米 *10 | |
| 无 气体吹扫 | 氦气 | - | 10sccm *9 | - | 30 厘米 *10 | ||
| 带 气体吹扫 | - | 15sccm *9 | - | 40 厘米 *10 | |||
| 推荐前级泵 （抽真空 10SCCM 时） *11 | >60升/分钟 | >120升/分钟 | |||||
| 重量 | VG：3.3kg， ISF：3.0kg， ISO：5.0kg | 6.0 公斤 / 9.0 公斤 | 6.3 公斤 / 9.3 公斤 | ||||
| 转速 | 87000转 | 60000转 | |||||
| 启动时间（高达 80%） （DC24V.背压：5Pa 或更低） | 1.7 分钟 | 3.5 分钟 | |||||
| 表面处理 *12 | 没有 | ||||||
| 安装方向 | 自由方向 | ||||||
| 噪声 *13 | <48分贝（A） | <50分贝（A） | |||||
| 控制器 | 输入电源 | DC24V ±5%，120W | DC24V ±5%，180W | ||||
| 触点输入和输出 信号 | REMOTE（D-sub 15 pin 公头） 数字输入：4 点。输出：4 点。模拟输出：1 点。 | ||||||
| 串行通信 | RS-485（D-sub 15 针公头，与 REMOTE 共享） | ||||||
| LED 显示屏 | 电源、正常、警报 | ||||||
| 开关 | 启动/停止，重置 | ||||||
| 可变旋转频率/速度 | 运行转速数 可以从泵规格的 25% 到 100% 之间以 0.1% 的步长变化。 | ||||||
| 异常作 检测 | 检测警报和警告。 | ||||||
| 保护电路 | 指示警报和警告。 | ||||||
| 标准配件 | 使用说明书（CD-R）、保护网（垫圈中仅内置 VG 和 ICF、 ISO 法兰保护网）、 垫圈（入口法兰）、防尘帽（入口、出口和连接器） | ||||||
| 适用标准 | CE、TUVus | ||||||
| *1 | 订购时请选择入口 flenge。 |
| *2 | 使用 2 级真空泵作为背泵计算。 |
| *3 | 烘烤仅适用于带 ICF 法兰的强制风冷型。 |
| *4 | 周围空气温度时的值为 25°C。如果环境空气温度发生变化，可接受的值将发生变化。 |
| *5 | 最大出口压力和最大入口压力不能同时满足。 |
| *6 | 最大进气口压力，可接受连续运行。 |
| *7 | 当来自入口的气流为 0 sccm 时，排气口的最大压力可以接受连续运行。 |
| *8 | 环境温度为 5~25°C 时的值。此外，应使用 N2 进行气体吹扫，其流速应为 25 sccm。 |
| *9 | 使用 60L/min 真空泵作为背泵测量的真空。 |
| *10 | 使用 120L/min 真空泵作为背泵测量的真空。 |
| *11 | 选择合适的前级泵，以便在气体流量增加时，不要将排气口压力保持在低于最大排气口压力。 |
| *12 | 请勿流动反应性气体、腐蚀性气体和含有镓的气体。使用其他气体时，请与我们联系。 |
| *13 | 该值根据 ISO 法兰类型的 ULVAC 标准测量。 |
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