| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 2千-5千 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科集成的皮拉尼真空计
日本ULVAC爱发科集成的皮拉尼真空计
特征
节省成本和空间的传感器类型
易于更换传感器头
具有优异耐腐蚀性的铂丝
您一直在使用的传感器头（WP-01、02、03、16）可以按原样使用。
设定点输出 2 点
测量值输出 DC 0 至 5V（非线性）
电源电压 DC24V
真空设备（如半导体、光学和电子零件制造）的低真空范围内的过程控制。
真空炉等工业设备的低真空范围内的过程控制
低压范围内的工艺控制，适用于具有多个工艺腔室的真空系统，例如在线溅射和单晶片加工设备。
| 类型 | 传感器单元 |
| 型 | 第 1 页 |
| 兼容的传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15 %（51 Pa ~760 Pa） |
| ±30 %（10 帕 ~1000 帕） | |
| ±50 %（0.4 帕 ~3000 帕） | |
| 工作温度范围 | 10 ~ 40°C |
| 测量值输出 | 非线性输出：0 至 5VDC（最大 10V） |
| 设定点 1/2 压力设定调整监视器 | 非线性输出：0 至 5VDC（最大 10V） |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出，负逻辑 |
| ERROR 信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED显示屏 | 电源、错误、设定点 1、设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V， 90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6 螺丝） |
| 重量 | 190 克/0.41 磅（不包括传感器头） |
标准配件 | 输入/输出连接器 1 个 |
| 快速手册 1 个 |
IO 和模拟 GND 未与电源 GND 隔离。
咨询电话