| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 2千-5千 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科热阴极真空计
日本ULVAC爱发科热阴极真空计
特征
爱发科自己的理念：能够根据应用连接不同测量范围的传感器头。
紧凑：与以前的型号相比，显著小型化（控制器体积减少 56%）。世界上zui 小的级别。
高可用性：通过连接 PC/Android 设置设定点、条件检查等。
更多选择：除了模拟输出规格和串行通信规格外，还提供 EtherCAT 规格。
灯丝寿命通知功能：通过监视电量，可以在电离真空计寿命之前进行提前警告。
宽测量范围：从大气压到超高真空 （1 x 10+5至 5 x 10-8Pa） 的 （与可选单元 SWU10-R 一起使用时）。
精确的大气压力感应：可提供腔室打开时的大气压力检查（与可选装置 SAU 一起使用时）。
半导体或电气设备真空设备的高真空范围内的过程控制。
用于具有许多工艺腔室的在线或间歇式真空设备的zhong 极压力检查。
高真空或超高真空设备的压力测量。
| 型 | SH200-A 型 | SH200-R 系列 | HT200-E （预定发布） | |
| 类型 | 模拟输出类型 | 串行通信类型 | EtherCAT 通信类型 | |
| 适用的电离计 传感器头 | M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070） | |||
| 可连接的传感器 | 多电离计 SH200：1 个皮拉尼真空计传感器单元 SWU10-R：1 个（可选） 压力感应单元 SAU：1 个（可选） | |||
| 重复性 （N2) | SH200 简单模式：±2% | |||
| 采样时间 | 60 毫秒，5 倍移动平均线 | |||
| 值输出 | 输出电压：0 至 10 VDC，LOG 输出：0.75 V/1 十进制 压力转换方程：V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^ | |||
| 更新时间 | 60 毫秒 | |||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF带集电极开路输入、负逻辑 | - | - | |
| 控制输出信号 | 传感器误差，设定点 1/2/3，发射有效 灯丝 功率观察 额定值：24VMAX、50mAMAX 饱和电压：1V | - | - | |
| 通信类型 | - | RS232C/RS-485 接口 | EtherCAT 技术 | |
| LED显示屏 | 电源：电源、错误 LED（闪烁模式和颜色变化取决于每种模式） | |||
| 发射电流 | 1mA （1×10-3Pa 或更低）、10μA （1×10-3Pa 或更高） | |||
| 脱气法 | 电子轰击型 1mA，330V | |||
| 传感器的最大压力 | 2×10+5Pa （1.5 x 10+3托，2 x 10+3mbar）（绝对压力） *需要单独的措施作为抵抗压力的能力，例如法兰和卡箍 | |||
| 传感器内部容积 | 17 厘米3（M-44），19 厘米3（M-45），17 厘米3（M-46） | |||
| 工作温度范围 | 10 至 50°C（50 至 122°C） | |||
| 工作湿度范围 | 15 至 80%（非冷凝） | |||
| 储存温度 | -20 至 65°C（-4 至 149°C）（不通电、不冷凝时） | |||
| IP 等级 | IP30 防护等级 | |||
| 电源电压 | DC20 至 28V（纹波、噪声 1% 或更低）低于 8W | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub15 针（M2.6 螺丝） | |||
| 重量 | 传感器单元：约 280g，传感器头 （M-44/45）：80g，（M-46）：300g | |||
| 尺寸 宽 x 深 x 高 | 69mm×63mm×90mm（仅传感器单元） | |||
| 适用标准 | CE | |||
| 选择 | Multi Ionization Gauge 传感器头 | M-44（NW16）， M-45（NW25）， M-46（ICF070） 气体接触部分材料： 细丝 1， 2 -Ir/Y2O3 其他： PtC-Mo， SUS304， W， 可伐合金玻璃， 可伐合金/镍电镀 | ||
| Pirani 真空计 | SWU10-R *还提供旧型号 SPU | |||
| Pirani 真空计传感器头 | SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）， SWP-CF16（ICF034） 气体接触部分材料 ： 细丝-Pt， 其他-BS/Ni 电镀， Ni， 焊锡 | |||
| 压力开关 | SAU（NW16） 气体接触部分材料 ： SUS316L | |||
| 单元电缆 | GUC-200P （SWU10-R用） ：0.5m， 1m， 2m GUC-200A （SAU用） ：0.5m， 1m， 2m | |||
| 显示单位 | 1路：ISG1（DC24V） | |||
| 显示电缆 | 电缆 SH200 和设计单元 之间 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 连接器 | I/O 连接器 （D-sub15-soket（M2.6mm 螺丝）） | |||
| 别人 | 测试证书、校准证书 | |||
“型号：SH200“ 有三种选择;使用多电离真空计的简单模式，使用多电离真空计和皮拉尼真空计的组合模式 （SWU10-R），以及使用多电离真空计、皮拉尼真空计 （SWU10-R） 和压力开关 （SAU） 的三重组合模式
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 简易模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 组合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 三重组合模式 |
| 可测量压力范围 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+1帕 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+5帕 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+5帕 |
| 准确性 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+1年化收益率： ±15% | 5.0×10 元-8至 1.0×10-1派安率：±15% 4.0×10-1至 3.0×10+0帕：±10~±15% 3.0×10+0至 1.0×10+4帕：±10% 1.0×10+4至 1.0×10+5年化收益率：±20% | 5.0×10 元-8至 4.0×10-1派安率：±15% 4.0×10-1至 3.0×10+0帕：±10~±15% 3.0×10+0至 1.0×10+4派安率：±10% 1.0×10+4至 3.0×10+5帕斯烷：±3%F.S.（3.0×10+3Pa・基准温度：25°C） |
| 连接图像 |  |  |  |
| 可测量压力范围图像 |  当需要“大气压"检查以打开腔室时，可以使用三重组合。 | ||
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