| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
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日本ULVAC爱发科摆阀
日本ULVAC爱发科摆阀
特征
由于爱发科du 特的压差机构，爱发科 VFR 摆阀在正常工作条件下最大限度地减少了颗粒、阀门磨损和振动。
阀壳很容易拆卸，无需从真空系统或泵上拆下阀门。拆下阀壳后，只需挑选一个螺栓即可拆下阀板，阀门易于维护。
ULVAC “Model：VFR" 阀可以安装在真空系统的任何位置。自由旋转和安装角度灵活（360 度）。
大型显示器制造系统
OLED 制造系统
其他真空系统，用作主阀和闸阀
| 型 | VFR-400型 | VFR-500 系列 | |
| 常用端口直径 | Φ400毫米 | Φ500毫米 | |
| 法兰规格（相当于 JIS B2290） | VF400 系列 | VF500 系列 | |
| 开/关规格 | 2 个位置 | ||
| 开/关作原理 | 气动 | ||
| 开盘/关门时间 | 8秒 | 12秒 | |
| 阀板密封 | 支持反向压力 | ||
| 最大阀板密封压差 （正压时） | 0.12 MPa | ||
| 最大阀板密封压差 （反向压力下） | 0.12 MPa | ||
| 开/关时的最大压差 （正压下） | 0.5 千帕斯卡 | ||
| 打开/关闭时的最大压差 （反向压力下） | 0.5 千帕斯卡 | ||
| 开路 Conductance | 50000升/秒 | 90000 升/秒 | |
| 压力范围 | 1.0×10-5Pa~0.12MPa（绝对压力） | ||
| 允许烘烤温度 （停止位置） | 阀体 | < 120°C （248°F） | |
| 圆柱体 | < 80°C （176F） | ||
| 允许环境温度 | 10 至 80°C（50 至 176F） | ||
| 允许气体温度 | 10 至 80°C（50 至 176F） | ||
| 压缩空气压力 | 0.50 至 0.70MPaG （72.5 至 101.5psi，5.0 至 7.0bar） | ||
| 压缩空气供应端口 | Φ8 管接头 | ||
| 维护周期 | 100,000 | ||
| 铣削角度 | 自由 | ||
| 主要零部件材料 | 阀体 | AC4CH-T6 系列 | |
| 密封板 | AC4CH-T6 系列 | ||
| 密封材料 | 真空侧 | FPM | |
| 油 | Z300 系列 | ||
| 重量 | 98 公斤 | 155 公斤 | |
| 翼缘到翼缘尺寸 | 150 毫米 | 170 毫米 | |
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