品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科溅射离子泵控制器
日本ULVAC爱发科溅射离子泵控制器
特征
体积小、重量轻通过 CPU 实现多功能性能使用一个控制器即可控制所有溅射离子泵(型号:“PST")
作为标准功能提供的通信功能通过作为标准功能提供的外部通信控制功能实现远程控制和自动作。
支持 XHV 通过自动启动电路和软启动功能,可以将泵单元污染降至zui 低。
改进的安全功能控制器具有防止其功能开关误作的功能,以及用于保护的联锁功能。采用氟碳树脂高压电缆,具有优异的耐热性和优异的电气特性。限制在电气和电子设备中使用某些有害物质(RoHS 指令)-支持CE 标志
加速器
电子显微镜
分析仪
可连接泵 | Actor pump (“Model:PST" 中的所有型号) | |
工作压力 | 10-2 到 10-4Pa 或更低 | |
显示范围 | 显示方法 | 数字显示(在 7 段 LED 上) |
显示内容 | ||
a) 输出电流显示 | 自动选择 2 个量程:mA、μA(线性显示) | |
b) 输出电压显示 | 0.0 至 7.5 kV(H 或 L)(1 档线性显示) | |
c) 压力显示 | Pa, mbr (1×10-8~1×10-2Pa)( 1×10-10~1×10-4mbar 的 | |
输出释放电压 | DC+7.5kV (2点,高低,可通过前面板开关选择; 使用微调器可在约 1.0 至 7.5kV 范围内调节高/低电压设置) | |
输出电流 | 小于 DC31mA | |
输入电压/电流 | AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A | |
MONITOR 端子输出信号 | 信号输出与 7 段面板显示器成比例, 每个量程 DC 0 至 10V 满量程,超过 100kΩ | |
压力设定点 | 2 积分 | |
远程/本地 | 可使用 from panel switch 进行选择 | |
外部控制功能 | 提供各种 输入/输出功能(提供 REMOTE 连接器)(远程、RS-232C 通信控制) | |
保护功能 | 提供错误显示/各种 保护功能 高压(HV)输出关断 ERR 0 至 5 灯 启动保护定时器设置(1 至 255 分钟可调) 停电后自动保留(HV 保持开关作) | |
环境工作条件 | 温度 | 0~40°C |
湿度 | 小于 85%(无结露) | |
辅料 | 输出电缆 (5m)、输入电缆 (3m) | |
重量 | 主机:约 4 kg,电缆:约 1.0 kg(标准) | |
尺寸 宽 x 高 x 深 | 240 x 99 x 370 毫米 {200 x 99 x 370 毫米(机架安装支架除外)} |
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