| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 5千-1万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科磁控管型冷阴极真空计
日本ULVAC爱发科磁控管型冷阴极真空计
特征
传感器规格
当不需要压力显示时，可以实现以下优点：
由于取消了显示器，真空计成本降低？更小的尺寸释放了控制面板空间
减少布线
维护非常简单
消除了细丝：不会因暴露在大气压下而损坏
控制输出符号：2 个设定点输出
输出信号：压力读数为 0 至 10V Log 输出（非线性输出）
电源电压：DC24V 供电
用于半导体、光学和电子零件制造的精密真空设备压力范围内的过程控制
工业设备（如熔炉）的低真空范围内的过程控制
在压力范围内对具有多个工艺腔室的真空系统进行工艺控制，例如在线溅射和单晶片加工设备
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 型 | SC1 | ||
| 兼容的传感器头 | C-21、23、24、25 | ||
| 测量压力范围 | 1.0×10-5至 1.0 Pa | ||
| 7,5×10-8至 7.5×10-3托 | |||
| 1.0×10-7至 1.0×10-2毫巴 | |||
| 准确性 | +100%，-50%（1.0×10-4至 1.0×10-1Pa） | ||
| +100%，-50%（7.5×10-7至 7.5×10-4托尔） | |||
| +100%，-50%（1.0×10-6至 1.0×10-3mbar 的 | |||
| 测量值输出 | 非线性输出：0 至 10VDC | ||
| 压力设定调整监视器 | 非线性输出：0 至 10VDC | ||
| 控制输入信号 | HV 开/关 | ||
| 控制输出信号 | 集电极开路输出，负逻辑 确认放电/设定点驱动信号 1/2 | ||
| 控制输出信号 | 集电极开路输出，负逻辑 确认放电/设定点驱动信号 1/2 | ||
| LED显示屏 | 电源、HV、保护、SETPOINT1/2 | ||
| 工作温度范围 | 10 至 40°C（50 至 104°F） | ||
| 工作湿度范围 | 15 至 80%（不结露） | ||
| 电源电压 | DC24V±2V，150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub-15pin（M2.6 螺丝） | ||
| 重量 | 430g（不包括传感器头） | ||
| 标准配件 | 输入/输出连接器 1 个 | ||
| 快速手册 1 个 |
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