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日本ULVAC爱发科光谱椭偏仪

简要描述:
日本ULVAC爱发科光谱椭偏仪
“Model:UNECS" 是一种光谱椭偏仪,可快速准确地测量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的测量方法,实现了紧凑的尺寸和高速的测量。
UNECS-1500M 通过易于使用的手动 R-θ 平台轻松定位测量点。

更新时间:2025-06-26

访问量:54

厂商性质:经销商

型号:UNECS-1500M

品牌ULVAC/日本爱发科产地类别进口
应用领域环保,化工,电子/电池,综合

日本ULVAC爱发科光谱椭偏仪

日本ULVAC爱发科光谱椭偏仪


特征

高速测量:实现快照测量方式,高速测量每点 20ms。

可见光谱范围:可以选择光谱波长范围。标准型为 530nm 至 750nm,可见光谱型为 380nm~760nm。

紧凑型传感器单元:传感器单元重量轻且非常紧凑。它由一个没有任何旋转机构的光学元件组成。此外,无需任何定期维护。

强大的产品线:拥有强大的产品线,包括便携式、手动/自动载物台型、内置式和大型基板型等。

应用

  • 测量透明或半透明的薄膜厚度 (D)、反射指数 (N) 和消光系数 (K)。(氧化膜、氮化物膜、光刻胶膜、ITO 膜等)

规格


波长范围530 至 750 纳米或 380 至 760 纳米
光斑尺寸Φ1mm 或 Φ0.3mm
入射角70°
薄膜厚度可重复性1σ = 0.1纳米
膜厚测量范围1nm 至 2μm
测量时间采样时间 : 20ms 至 3000ms 分析时间 : 300ms
样品台固定载物台(Φ150mm、可拆卸)
控制 PC笔记本电脑,包括分析软件
配置测量单元(包括固定载物台)。控制箱。光源单元。控制 PC(笔记本电脑型)和作手册 (CD)。


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