| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科自动型光谱椭偏仪
日本ULVAC爱发科自动型光谱椭偏仪
特征
高速测量：实现快照测量方式，高速测量每点 20ms。
可见光谱范围：可以选择光谱波长范围。标准型为 530nm 至 750nm，可见光谱型为 380nm~760nm。
紧凑型传感器单元：传感器单元重量轻且非常紧凑。它由一个没有任何旋转机构的光学元件组成。此外，无需任何定期维护。
强大的产品线：拥有强大的产品线，包括便携式、手动/自动载物台型、内置式和大型基板型等。
测量透明或半透明的薄膜厚度 （D）、反射指数 （N） 和消光系数 （K）。（氧化膜、氮化物膜、光刻胶膜、ITO 膜等）
| 型 | 1500 安培 | 2000 安培 | 3000 安培 | |
| 波长范围 | 530 至 750 纳米或 380 至 760 纳米 | |||
| 光斑尺寸 | Φ1mm 或 Φ0.3mm | |||
| 入射角 | 70° | |||
| 薄膜厚度可重复性 | 1σ = 0.1纳米 | |||
| 膜厚测量范围 | 1纳米~2微米 | |||
| 测量时间 | 采样时间 ： 20ms 至 3000ms 分析时间 ： 300ms | |||
| 样品台 | Φ150毫米 | Φ200毫米 | Φ300毫米 | |
| 最大自动可测量积分 | 200点 | 200点 | 2,000点 | |
| 控制 PC | 笔记本电脑，包括分析软件 | |||
| 配置 | 测量单位。控制单元。控制 PC（笔记本电脑型）和作手册 （CD）。 | |||
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