| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
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日本ULVAC爱发科旋转式多传感器
日本ULVAC爱发科旋转式多传感器
特征
可安装 5 或 6 MHz 6 片 AT 切割晶体。
采用真空电机的du 创驱动系统实现了高可靠性。
水晶的更换可以与水晶支架一起拆卸。
如果检测到晶体故障（异常振荡），则通过控制器 （CRTM） 的信号自动切换到下一个晶体。
传感器头体积小（直径 50 毫米），可以灵活地安装在蒸发沉积设备中。
用于光学、OrganicEL、电气器件的高速、多层沉积控制。
| 传感器头 | |
| 搭载的水晶编号 | 6 件 |
| 晶体容量 | 4MHz、5MHz 或 6MHz（可选）AT 切割晶体 |
| 耐热温度 | 350°C |
| 冷却水量 | 1升/分钟 |
| 重量 | 1 千克 |
| 尺寸 | φ50mm x 高 89mm |
| 控制器 | |
| 数字输入 | INIT、CNT、STOP |
| 数字输出 | 传感器编号、BUSY、ERROR、RETRY、END |
| 效用 | DC24V，3.0A |
| 尺寸 W×D×H | 100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米 |
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