| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科晶体沉积监测仪
日本ULVAC爱发科晶体沉积监测仪
特征
出色的速率稳定性和分辨率使其适用于低速率控制。
能力值（CI 值）测量功能提高了晶体异常检测能力。
可以同时控制多达 8 个源的气相沉积。（添加选项）
通信方式支持以太网和 RS-232C。
可以保存各种日志数据。数据可以传输到 USB 并在 PC 上进行分析。
OLED 沉积过程中的薄膜厚度和速率监控。
| 频率 | 测量范围 | 4.00 至 3.00MHz @4MHz 5.00 至 3.50MHz @5MHz 6.00 至 4.50MHz @6MHz |
| 测量分辨率 | 1毫赫兹 | |
| 显示分辨率 | 1毫赫兹 | |
| 沉积速率 | 测量范围 *1 | 0.000 至 999.9Å/s（0 至 99.99nm/s） |
| 测量分辨率 *2 | 0.0028Å/s @4MHz 0.0018Å/s @5MHz 0.0012Å/s @6MHz | |
| 显示分辨率 *1 | 0.001 Å/秒 | |
| 薄膜厚度 | 测量范围 *1 | 0.000 至 9999kÅ （0 至 999.9μm） |
| 测量分辨率 *2 | 0.0028Å @4MHz 0.0018Å @5MHz 0.0012Å @6MHz | |
| 显示分辨率 *1 | 0.001 千米 | |
| 传感器频率 | 4MHz、5MHz、6MHz | |
| 可安装的传感器数量（单个） | 2 个（可选择添加一组 2 个传感器，最多 8 个传感器。 | |
| 可安装的传感器数量（多个） | 2 个（可选择添加一组 2 个传感器，最多 8 个传感器。 | |
| 采样率 | 100 毫秒 | |
| 沉积程序数量 | 999 | |
| 过程程序数量 | 99 | |
| 数字输入点 | 14（可以选择添加一组 14 个点，最多 56 个点。 | |
| 数字输出点 | 8（可以选择添加一组 8 个点，最多 32 个点。 | |
| 模拟输出点 | 2（可以选择添加一组 2 个点，最多 16 个点。 | |
| 模拟输出范围 | -10 至 +10V | |
| 通信方式 | 以太网 （1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T） RS-232C USB（B 型，用于使用专用软件设置） | |
| 外部尺寸（宽 x 深 x 高） | CRTM-R1-EL：约 480 x 320 x 130 毫米 CTM-EL（-D）：约 80 x 152 x 53 毫米 | |
| 重量 （kg） | CRTM-R1-EL： 5.3 千克（安装选件时最高可达 5.8 千克） CTM-EL（-D）： 0.6 千克 | |
| 效用 | 交流 100 至 240V 50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150瓦 | |
| 合适的保险丝 | 250V 2.5A （2 个 5 x 20mm） | |
| IP 防护等级 | IP20 防护等级 | |
| 过电压类别 | 第二类 | |
| 高度 | 海拔 2000m 以下 | |
| 污染水平 | 2 | |
| 经营环境 | 温度 5 至 40°C 湿度 20 至 85%RH（无冷凝） | |
| 存储环境 | 温度 -10 至 60°C 湿度 20 至 85%RH（无冷凝） | |
| 预热时间 | 约 30 分钟 | |
| 适用标准 | CE | |
* 1：这是 Tooling = 100 且 Density = 1
* 2 时的值：这是 Tooling = 100 且 Density = 1 时转换频率分辨率的值。
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