CANON ANELVA 冷阴极皮拉尼真空计

产品简介

二、核心技术参数

1. 测量原理：皮拉尼 + 冷阴极复合式

2. 测量量程：

   皮拉尼段：大气压～1Pa

   冷阴极段：1Pa~1×10⁻⁵Pa

3. 接口规格：NW25 真空法兰

4. 输出信号：标准电压信号输出，可对接工控系统、显示仪表

5. 工作电压：常规工业直流供电

6. 使用温度：标准工业环境适用温度区间

7. 材质：真空腔体耐腐蚀金属材质，抗气体侵蚀

8. 响应速度：压力变化快速感应，数据反馈及时

三、结构与技术特点

1. 双原理集成

   低真空依靠皮拉尼热传导检测，高真空启用冷阴极电离检测，无缝自动切换，全程无测量盲区。

2. 抗干扰性能强

   内部电路优化设计，抵御电磁干扰，复杂工业工况下数值无波动。

3. 密封性优异

   标准 NW25 法兰连接，对接紧密，杜绝漏气影响测量数据。

4. 耐用性高

   无易损耗易耗件，长期连续运行稳定，维护频次低。

5. 通用性强

   适配各类国产、进口真空机组，安装替换便捷，兼容性好。

6. 精准度高

   出厂严格校准，重复性测量误差小，满足精密工艺管控标准。

四、适用领域

1. 半导体真空制程、晶圆加工设备

2. 真空镀膜、溅射、蒸发镀膜设备

3. 科研实验室真空腔体检测

4. 热处理真空炉、焊接真空设备

5. 电子元器件真空封装设备

五、使用要点

1. 安装前清理管路杂质、粉尘，避免堵塞感应腔体

2. 严格匹配供电电压，防止电压异常损坏内部元件

3. 长期停用需做好防尘防潮存放

4. 定期进行零点校准，保障测量精准度

5. 避免腐蚀性强浓度气体长时间通入，延长设备使用寿命

六、性能优势总结