日本 miraial KT3003 12 寸标准 FOUP 前开式晶圆传送盒简介
发布时间：2026-05-22 点击次数：146次
产品概述
该器件是适配 300mm 规格晶圆的前开式承载容器，产自日本，主要部署于半导体洁净厂房，用于晶圆静置存放、各生产工序转运，同时可与生产设备完成对接作业。
技术参数
型号：KT3003适用晶圆尺寸：12 英寸标准承载容量：25 片壳体主材：导电 PC、PBT 复合工程塑料遵循规范：SEMI 行业技术标准防护性能：自带防静电结构使用环境：高洁净密闭空间 结构与材质说明
箱体配备密封舱门，能够阻挡外界粉尘、水汽进入内部腔体。一体成型工艺保障外形尺寸精度，长期使用不易变形，可匹配自动化搬运、对接设备接口。原材料杂质析出量低，化学性质稳定，不会腐蚀、污染晶圆表面。产品采用模块化组合设计，零部件拆分更换便捷，日常维护操作简单。 功能特性
具备静电泄放能力，可规避静电放电对晶圆电路造成损坏。腔体密闭性良好，有效隔绝外部污染物，维持内部洁净度。结构兼容性强，可适配车间自动化流转系统，满足自动化上下料作业要求。
应用场景
半导体芯片全制程物料周转存放高洁净车间晶圆暂存保管自动化产线设备对接配套使用
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