日本 miraial KT3003 12 寸标准 FOUP 前开式晶圆传送盒简介-湖南中崎科技有限公司

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发布时间：2026-05-22 点击次数：15次

产品概述
该器件是适配 300mm 规格晶圆的前开式承载容器，产自日本，主要部署于半导体洁净厂房，用于晶圆静置存放、各生产工序转运，同时可与生产设备完成对接作业。
技术参数
型号：KT3003
适用晶圆尺寸：12 英寸
标准承载容量：25 片
壳体主材：导电 PC、PBT 复合工程塑料
遵循规范：SEMI 行业技术标准
防护性能：自带防静电结构
使用环境：高洁净密闭空间
结构与材质说明
箱体配备密封舱门，能够阻挡外界粉尘、水汽进入内部腔体。一体成型工艺保障外形尺寸精度，长期使用不易变形，可匹配自动化搬运、对接设备接口。
原材料杂质析出量低，化学性质稳定，不会腐蚀、污染晶圆表面。产品采用模块化组合设计，零部件拆分更换便捷，日常维护操作简单。
功能特性
具备静电泄放能力，可规避静电放电对晶圆电路造成损坏。腔体密闭性良好，有效隔绝外部污染物，维持内部洁净度。结构兼容性强，可适配车间自动化流转系统，满足自动化上下料作业要求。
应用场景
半导体芯片全制程物料周转存放
高洁净车间晶圆暂存保管
自动化产线设备对接配套使用

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日本 miraial KT3003 12 寸标准 FOUP 前开式晶圆传送盒简介

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功能特性

应用场景