佳能安内华 M-361CP-SPN25 工业真空机真空测量传感器

产品简述

二、测量原理

1. 皮拉尼规：依托气体热传导变化检测气压，适用中低真空区间。

2. 冷阴极电离规：电场激励气体电离实现高真空测量，无热灯丝结构，规避灯丝老化烧毁问题。

3. 内部电路自动实现双规区间无缝切换，连续覆盖全量程压力检测。

三、核心技术参数

• 测量量程：1×10−7Pa∼1×105Pa

• 供电电压：DC 15～30V

• 整机功耗：2.4W

• 模拟信号输出：0～10V 标准电压信号

• 开关输出：两路继电器触点输出

• 电气接口：D-sub 9 针连接器

• 连接法兰：NW25 标准真空法兰

• 工作环境温度：5℃～55℃

• 主体结构材质：不锈钢壳体，氧化铝绝缘基材

四、结构与特性

1. 无灯丝冷阴极设计，抗污染、耐水汽，适合工业及制程真空环境。

2. 宽量程一体化设计，无需搭配多台不同量程真空规。

3. 内置信号处理电路，压力数值输出线性度好，区间切换无跳变。

4. 模块化传感结构，可单独拆装维护，无需整体拆解真空腔体。

五、适用工况范围